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熱式質(zhì)量流量計(jì)（以下簡稱TME）是利用傳熱原理，即流動(dòng)中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測(cè)量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來測(cè)量流量的儀表，氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后絕大部分流量過分流器通道，其中很小一部分進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管，由于分流通道的特殊結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)過預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入氣流溫度，此時(shí)通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱發(fā)原理測(cè)量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。用這種方法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。將傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)輸入電路板，經(jīng)過放大后輸出，就完成了質(zhì)量流量測(cè)量的功能。

利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計(jì)曾稱量熱式。

為擴(kuò)大儀表流量，還可采用在管道內(nèi)裝管束等層流阻流件；擴(kuò)大更大流量和口徑還常采用分流方式，在主管道內(nèi)裝層流阻流件以恒定比值分流部分流體到流量傳感部件。

熱分布式TMF可測(cè)量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量

熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。

氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。

被測(cè)量氣體組分變化較大的場(chǎng)所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測(cè)量值會(huì)有較大變化而產(chǎn)生誤差。

對(duì)小流量而言，儀表會(huì)給被測(cè)氣體帶來相當(dāng)熱量。

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